中新网北京7月8日电（记者陈健）“十四五”期间，北京经济技术开发区（简称经济开发区，又称北京亦庄）要继续强化在集成电路制造和装备环节的优势，在全国集成电路产业链发展中确立领先地位。

在8日召开的北京亦庄创新大会上，经开区经发局副局长李东明介绍了《“十四五”期间北京经济技术开发区的开发建设》 ——“年计划”时期和“2035年长期目标计划”。 （以下简称“企划”）如是说。

李东明指出，北京经济技术开发区始终坚持在服务国家战略中发展自身。 “十四五”期间，将在产业链创新链上进一步发力，以“白菜心”等重大项目为重点。继续强化集成电路制造和装备环节优势，确立经开区在全国集成电路产业链发展中的领先地位。

发布会上，中电电子设备集团有限公司（以下简称点科设备）发布了离子注入机、化学机械抛光设备（CMP）、湿式设备的技术突破。

离子注入机是集成电路制造前工序的关键设备，难度仅次于光刻机。它通过掺杂半导体表面附近的区域，引起材料表面成分、结构和性能的变化。

电气装备战略规划部部长李进透露，目前电气装备已经实现了全谱系离子注入机的国产化，可以为芯片厂商提供离子注入机的一站式解决方案。

化学机械抛光设备（CPM）和湿法设备也是集成电路制造的核心和关键设备之一。据李进介绍，电气设备8英寸CMP设备市场占有率达70%，12英寸CMP得到客户验证，性能优异。电气设备湿法设备已进入8英寸集成电路外延片加工和芯片制造领域。

他说：“北京经济开发区是全国集成电路产业最集中、技术最先进的地区之一，重点集中中芯国际、华北等龙头企业，形成了完整的集成电路产业链。“十四五”期间，经开区将继续大力推进新一代信息技术，电气设备将抓住这些有利机遇，努力成为世界一流的高端集成电路具有全球竞争力的制造装备企业。”

发布会现场，配备全集成芯片实验室系统的新型冠状病毒核酸检测移动实验室在北京首次向媒体开放。

这个全国首个由轻型客车装载的移动实验室，被钟南山院士称为“骠骑兵”。由清华大学、北京生物芯片国家工程技术研究中心、北京博鳌晶电生物科技有限公司（简称博鳌晶电）组成。奥晶电）联合研发。

博鳌精电科研处处长任军介绍，“骠骑兵”只要接通220V民用电，或者自己启动发电机，就可以正常工作。采样可以通过口咽拭子、机械臂和手动两种方式完成。这样就搞定了。完全集成的芯片实验室系统可以在45分钟内完成整个实验，最快35分钟内报告阳性结果。检测灵敏度可达150拷贝/ml，处于行业领先水平。

任军表示：试剂及配套设备已获国家食品药品监督管理局紧急审批，可部署在医疗条件相对落后的口岸和地区。 “迄今为止，抗疫‘轻骑兵’已从北向南行进数千公里，继续在皖粤疫情防控一线贡献抗疫科技力量。” （完）